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自动金相显微镜系统-半导体测量设备

自动金相显微镜系统-半导体测量设备

 

 

全自动鼻轮设计、全程软件控制

3A(3 Automatic)特点设计

◆ 鼻轮自动变倍

◆ 镜头自动对焦

◆ 光源自动控制

 

产品应用:

 

◆材料分析鉴定(纤维、陶瓷、粉末、冶金、化工)

◆制程外观高倍检测(蒸镀、黄光、蚀刻、合金)

◆机械精密模具、冲压五金、切割刀具

◆晶圆半导体金属工业与电子元件

◆医疗相关(教学、院校及科研单位)

 

产品特色:

 

◆采用高精密花岗石基座,具有高强度、稳定性及耐腐蚀

◆立柱采用全新C型花岗岩架构设计、降低阿贝误差,大幅提高量测精度

◆全自动软体全程控制可自动变倍、自动对焦及自动光源控制

◆标准Navitar同轴光镜头,放大倍率17.5X-112.5X

◆如需更大之放大倍率,可加装市面上著名品牌之金相接物镜2X、5X、10X、20X、50X或更高

◆采用高精密反射尺,解析度为0.1μm

◆线性精度X、Y轴<(1+L/200)μm

◆重复精度<X、Y、Z三轴为0.001mm

◆环形LED表面光、底光与同轴光

◆搭配SI-901专业2.5D影像量测软体

◆全系列均搭配标准工作桌(长×宽×高)1557×1378×700mm

◆全系列产品皆符合防尘、除静电机台作业标准

 

实例:

 

1.晶圆切割(Die Saw)尺寸确认

 

2.导线架(Lead Frame)粘晶位置确认

 

3.焊线、焊点(Wire Bonding)位置确认

 

4.晶圆焊线(Die Bonding)确认

 

a.基底高度量测

 

b.蛋白高量测

 

c.蛋白X轴、Y轴距离量测

 

d.线弧高量测

 

 

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